개발 실적

나노 메트릭스 반도체 장비 개발 / 광학 검사 장비

EBR 검사기 (광학장비) 반도체 생산의 Wafer Photo Mask에 대한 검증을 수행하는 전공정 광학 장비의 SW개발입니다. 반도체 공정 아이디어를 장비로 만들었으며, 하이닉스, 삼성, 대만등에 납품될 예정입니다.

: 들어온 Lot 에 대해 테스트를 진행하는 메인 프로그램입니다.

테스트 조건과 이미지를 받아 EBR을 수행하여 Pass / Fail을 가리고 분석합니다.

Splash 화면

- 프로그램이 로딩할 양이 많아 시간이 조금 걸리므로 Splash 가 그동안 화면에 표시되고 로딩 상황을 알려줍니다.

Loading 화면

- 로딩 상태에 대해 화면이 표시됩니다. 로딩이 완료될 때까지 메뉴는 눌러지지 않습니다.

테스트 메인 화면

- 로딩이 완료되면 서버 기능이 시작되며, 공정 진행 상태가 됩니다.

테스트 진행 화면

- 포토 마스킹후 이미지를 광학 카메라로 찍은후 이미지 프로세스를 하여 실제 거리를 측정하고 마스킹이 잘 되었는지 Pass / Fail을 판별합니다.

각 Wafer 각도별 이미지 상세 조회

- 원본 이미지, Edge Image등의 이미지를 전체 화면으로 조회하고, 실제 거리를 재볼수도 있습니다.

결과 분석 화면

- 결과 데이터를 통해 웨이퍼 Edge 부분 상태를 분석합니다.

결과 검색 화면

- 기존 결과를 상세하게 분석하여, 테스트 당시 상태에 대한 화면을 불러오고, 조건을 바꾸어 다시 테스트하는 ReTest를 수행할 수 있습니다.

2. 라이센스 프로그램

해당 프로그램 복사 방지를 위한 라이센스 툴을 개발하여 제공하였습니다. 강력한 256Bit 암호화를 사용하였습니다.

License 요청 프로그램
- 라이센스를 Equip manufactor에게 요청합니다.

License 관리자 프로그램

- 라이센스를 만들고 고객에게 제공합니다.

초기 라이센스 툴

3. 테스트 프로그램

복잡하고 큰 프로그램은 각 단위별 기능별 테스트를 할 수 테스트 프로그램이 필요합니다.

Test Library를 실험하는 테스트 프로그램 (VC6.0)

- 실제 작업의 근간이 되는 Library를 ActiveX 거치지 않고 직접 테스트 합니다.

공정상에서 네트워크 서버 역할을 테스트 하는 통신 테스트 프로그램

- Winsock / Ascii형 통신을 테스트하는 프로그램 입니다.

개발 테스트 화면 (MFC)